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“小劉,小鄒,你們確實沒有在糊弄我?”林剛把話說完,就感覺自己有些冒失了。
因為影片裡的兩人都是那處航天基地中出來的。
就拿劉成棟而言,他本人是基地的二把手,論起職位級別比林衛國這個光電所的所長還要高上那麼一頭。
林衛國也是仗著年齡大,資歷老,才會喊對方一聲小劉。
至於另一位鄒穎就更不必說了,她是基地中的技術部門負責人,經常會與光電所這樣的兄弟單位進行合作交流,對彼此的情況也非常熟悉。
就拿最先研發投產的虛擬投影腕錶而言,裡面幾項核心技術就是採用了光電所的技術儲備。
從這樣兩個位高職重的“熟人”口中得知了製造原子級別精度光刻機的事情,林衛國的心中就不免起了幾分將信將疑的心思。
沒辦法,誰讓這兩人提到的原子級別的精度實在是太匪夷所思了一點!
說到這,就不得不先簡單提一下晶片製造的整個流程:晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-互連-測試-封裝。
而其中最為關鍵的技術步驟,就是光刻。
什麼是光刻?
簡單點理解就是透過特殊波動的光線將設計好的電路圖案“印刷”到晶圓上。
現目前市面上主流的光刻機,按照製程範圍可以分兩種:一種是透過準分子鐳射,將193奈米光源進行折射的DUV光刻機。
DUV光刻機基本只能做到25奈米級別,像著名的因特爾公司就採用雙工作臺的魔改方式將DUV光刻機的精度做到10奈米,但是無法達到10奈米以下。
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